干熱滅菌柜主要由以下三大部分組成的：

　　1、緩沖板、風閥、氣流調節器或空氣檔板：緩沖板或空氣檔板用于控制干熱滅菌柜的空氣流量，多安裝于進風或排風風管或加熱器附近，用于正壓控制的氣流調節器可以安裝排風系統中的防止倒流風污染的高效過濾器附近，通過控制排風量控制正壓，也可以用氣流調節器控制進風和排風風量以保持正壓。一般情況下，干熱滅菌器腔室內的壓力略高于其相臨的非無菌區而略低于其相臨的無菌區。

　　2、風機：對干熱滅菌器中的氣流循環影響很大，風機的風量應該可以測量，并可調整，必要時可以要求供應商將此項要求增加到其設備標準中，因為風機風量的測量指示值，可以為設備使用過程中檢查風機狀態提供依據。

　　3、加熱器：它是干熱滅菌設備的主要組成部分，對滅菌效果的好壞影響極大。加熱器故障是造成干熱滅菌設備滅菌效果下降的主要原因之一，其主要表現為升溫速度下降；影響熱分布；產生塵埃物質。而造成加熱器故障的原因，主要是加熱器的長期使用或通過加熱器的空氣質量較差所致。所以一般應在滅菌器的加熱系統配置電流監測器，以及時發現其故障。